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本实用新型公开了一种半导体芯片生产用化学品在线加热器，包括：化学品加热输送管道，所述化学品加热输送管道具有进料口和出料口；设置在所述化学品加热输送管道内的若干电炉加热丝，所述外围设置有第一传热层；设置在所述化学品加热输送管道内的温度控制传感...
该专利属于上海提牛机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海提牛机电设备有限公司授权不得商用。

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