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本发明公开了一种旋转靶六角轴机构，配设于旋转靶驱动装置内，以驱动旋转靶转动实现溅射镀膜；旋转靶驱动装置包括支撑座；旋转靶六角轴机构包括六角驱动轴和磁钢支撑轴，六角驱动轴插接于支撑座内，磁钢支撑轴设置于六角驱动轴内；磁钢支撑轴的一端伸入六角驱...该专利属于东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。