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一种晶体管的形成方法,包括:提供半导体衬底,包括PMOS区域和NMOS区域;在PMOS区域和NMOS区域上形成顶部具有掩膜层的栅极结构;在栅极结构侧壁表面形成第一侧墙;在半导体衬底表面、第一侧墙和掩膜层表面形成第二侧墙材料层和第三侧墙材料层...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种晶体管的形成方法,包括:提供半导体衬底,包括PMOS区域和NMOS区域;在PMOS区域和NMOS区域上形成顶部具有掩膜层的栅极结构;在栅极结构侧壁表面形成第一侧墙;在半导体衬底表面、第一侧墙和掩膜层表面形成第二侧墙材料层和第三侧墙材料层...