下载功率器件的CSP封装结构及其制造方法的技术资料

文档序号:13466243

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本发明公开的功率器件的CSP封装结构,该结构利用管芯与管芯之间的划片道和/或管芯四个角处的区域,用腐蚀或者划片的方法,将这些区域的外延层去掉,露出N+衬底,之后用溅射或蒸发的方法在芯片表面蒸镀一层金属以此将衬底的N+层引到表面,以此来实现C...
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