下载一种消除金刚线切割痕迹的多晶硅制绒方法的技术资料

文档序号:13462899

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种消除金刚线切割痕迹的多晶硅制绒方法及其应用。本发明的制备方法包括以下步骤:(1)将具有金刚线切割痕迹的多晶硅片置于黑硅处理溶液中进行黑硅处理,在硅片表面形成多孔硅结构;(2)将该多晶硅片置于氢氟酸、硝酸的混合酸溶液中进行表面...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。