下载一种整体成形大长径比钨管靶材的制备方法的技术资料

文档序号:13462320

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本发明公开了一种磁控溅射镀膜用整体成形大长径比钨管靶材的制备方法,该方法以纯度为99.9%~99.999%的钨粉为原料,将钨粉装入包套,然后真空热除气,将除气完成的包套与成形工装装配在热等静压机中压制后通过机械加工获得与背管整体绑定的大长径...
该专利属于航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院授权不得商用。

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