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真空泵具有西格班式分子泵部，在该西格班式分子泵部内的外周（外侧）的折返流路中，具有用于增大流导率的构造，所述西格班式分子泵中，在配设的固定圆板和配设的旋转圆板中的至少某一个上，刻设（配设）有螺旋状槽，该螺旋状槽具有峰部和谷部。借助形成于旋转...
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