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力学量测量装置制造方法及图纸
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下载力学量测量装置的技术资料
文档序号:13460038
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力学量测量装置,其具备:传感器片,其具有形成于半导体基板的一面的应变检测部和与应变检测部连接的多个电极;茎部,其具有从邻接的周缘部突出的台座,并且台座的上表面通过由金属材料或玻璃材料形成的接合件与传感器片的下表面接合;引出配线部,其具备与多...
该专利属于日立汽车系统株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立汽车系统株式会社授权不得商用。
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