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声学组件及其制造方法技术
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文档序号:13457379
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一种微机电系统(MEMS)麦克风,包括具有延伸穿过的端口的基底。MEMS晶片耦接到该基底,并且该MEMS晶片包括隔膜和背板。专用集成电路(ASIC)耦接到该基底和该MEMS晶片。盖被耦接到基底,并且该盖包括客户盘。该盖上客户盘电连接到该AS...
该专利属于美商楼氏电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美商楼氏电子有限公司授权不得商用。
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