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一种基于Linnik型干涉光谱测量薄膜的非线性相位补偿方法，包括：针对Michelson干涉结构测量反射镜表面，分析等效厚度的变化对此时系统非线性相位造成的影响，利用波长校正方法对等效厚度进行修正使其恒定；在其他元件和参数不变,只调节参考镜...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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