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一种工件六自由度位置和姿态测量传感器装置，用于同时对工件的垂向和水平向进行测量，包括光源，用于提供探测所述工件所需的光束；以及若干光学元件，用于将所述光束投射至所述工件上，并将所述工件上的反射光分别传送至第一光电探测器和第二光电探测器，其特...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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