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具有载台的电子显微镜制造技术
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下载具有载台的电子显微镜的技术资料
文档序号:13448207
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一种电子显微镜,包括载台、第一驱动单元、稳流单元及电子源。载台承载待测物。第一驱动单元驱动第一液体沿第一流动路径流动,其中第一流动路径通过待测物。稳流单元配置于第一流动路径上以对第一液体进行稳流,其中第一液体依序流经稳流单元及载台。电子源提...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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