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徐州中辉光伏科技有限公司
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一种太阳能电池用硅片扩散炉制造技术
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下载一种太阳能电池用硅片扩散炉的技术资料
文档序号:13438378
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本实用新型属于太阳能电池生产技术领域,具体提供了一种太阳能电池用硅片扩散炉,包括设有炉门的炉体、设在炉体内的石英舟、用于将扩散气体送入炉体内的进气管以及扩散处理后排放尾气的排气管,进气管位于石英舟的上方,进气管上开设有多个通孔A,排气管位于...
该专利属于徐州中辉光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州中辉光伏科技有限公司授权不得商用。
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