下载大口径光学元件真空抓取系统的技术资料

文档序号:13432436

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本发明公开了一种大口径光学元件真空抓取系统,包括支撑板;呈矩形环状结构的快换胶条,该快换胶条沿周向贴附在所述支撑板一侧表面上;设置在支撑板上的抽气管,所述抽气管与支撑板和快换胶条围成的空间连通,该抽气管远端连接有真空泵。本发明能够实现对大口...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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