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基于双闪耀光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法制造方法及图纸
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下载基于双闪耀光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法的技术资料
文档序号:13428450
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本发明公开一种双闪耀光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法,属于激光精密测量技术领域。该装置包括:激光源,用于提供激光束和参考信号,其中所述激光束包含频率不同且线偏振方向正交的第一偏振分量和第二偏振分量,所述参考信号的频率对应于所述第一偏振分量...
该专利属于中国科学院高能物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院高能物理研究所授权不得商用。
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