下载一种基板对位装置和对位方法的技术资料

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本发明公开了一种基板对位装置和对位方法,以实现低成本、高可靠性的基板对位。所述基板对位装置,包括用于承载基板的承载平台和用于对所述基板进行限位的限位部件,所述承载平台由导磁材料构成;所述承载平台的承载面刻画有坐标刻度线,所述坐标刻度线用于标...
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