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武汉华星光电技术有限公司
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测量光阻膜厚的方法技术
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文档序号:13421481
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本发明提供一种测量光阻膜厚的方法,所述方法包括:A)随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动,感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚;B)识别探针划过的每个位置的光阻的颜色;C)输出以识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线;D)根据所...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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