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本发明提供一种能够将材料高效且大量地向等离子体投入，从而增加生产量且以低成本进行生产的微粒制造装置以及微粒制造方法。该微粒制造装置具有：真空腔室(1)；材料供给装置(10)，其与真空腔室连接且将材料的颗粒(30)从材料供给口(12)向真空腔...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。

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