下载一种新型的组合掩膜版的技术资料

文档序号:13417970

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本发明涉及电子技术领域,具体涉及一种组合掩膜版。一种新型的组合掩膜版,第一掩膜版,用于在一复合结构中形成第一薄膜层;第二掩膜版上形成多个呈阵列结构排布的格点,格点区域为透明区域;第三掩膜版,用于在复合结构中形成第二薄膜层;第四掩膜版,用于在...
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