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本实用新型涉及CCD检测设备技术领域，具体为一种真空防回油结构，其结构简单，能够有效防止真空泵中的油进入真空室，保证可靠的检测环境和检测结果，其包括真空滤油装置，所述真空滤油装置一端通过左侧卡箍连接挡板阀一端，所述挡板阀另一端连接真空光室，...
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