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本实用新型的加热炉，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体，所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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