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本发明公开了一种压电单晶片式马达制作的扫描探针显微镜镜体，压电单晶片式惯性压电马达和压电扫描器固定于底座上并且该压电扫描器的振动平面与压电单晶片式惯性压电马达的行走方向垂直，压电片和非压电材料支撑体设置于基座和导轨之间，压电片的一端通过胶体...
该专利属于河南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过河南师范大学授权不得商用。

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