下载热电发电器件及其制备方法的技术资料

文档序号:13383176

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本发明公开一种热电发电器件的制备方法,包括:提供热电片,包括相对设置的热端和冷端、多个第一电极、多个第二电极、多个p型热电结构以及n型热电结构;通过磁控溅射工艺分别在所述热端和所述冷端的外表面形成润湿金属层;通过电镀工艺分别在所述润湿金属层...
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