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自供电压力振动传感器制造技术
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下载自供电压力振动传感器的技术资料
文档序号:13379946
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本发明提供了一种自供电压力振动传感器。该自供电压力振动传感器包括:第二摩擦层;形成于第二摩擦层背面的电极层;位于第二摩擦层的正面上方,外侧边缘与第二摩擦层的外侧边缘密封结合的第一摩擦层,其材料与第二摩擦层的材料位于摩擦电极序中的不同位置;支...
该专利属于北京纳米能源与系统研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京纳米能源与系统研究所授权不得商用。
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