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一种DNA碱基序列检测的双层SiN纳米孔结构的制作方法技术
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下载一种DNA碱基序列检测的双层SiN纳米孔结构的制作方法的技术资料
文档序号:13377027
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本发明提供一种DNA碱基序列检测的双层SiN纳米孔结构及其制作方法。包括:首先提供一硅基体作为基板;在基体两侧表面通过LP‑CVD工艺沉积由3层纳米薄膜组成的结构层,从基体向上分别为SiN/SiO2/SiN;接着使用LP‑CVD工艺在所述结...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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