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一种用于超高真空系统的可控低温汞蒸气源。汞杯底部与多级半导体制冷片(TEC)顶部粘接，TEC底部与热沉顶部粘接，热沉通过通水法兰安装在超高真空系统上。汞杯侧壁粘有温度传感器，温度传感器和TEC通过Feedthrough与外部实现电气连接。汞...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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