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本发明公开了一种光学对位补偿装置、贴合度检测装置、蒸镀系统及其方法，所述光学对位补偿数据获取装置包括影像采集机构，用于采集所述基板与所述金属掩膜交迭后，金属掩膜的开口以及与其对应的基板的像素开口的图像；处理机构，用于根据采集的所述金属掩膜的...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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