下载一种硅片翻片装置的技术资料

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本实用新型涉及一种硅片翻片装置,包括底座和设置在底座上的输送带,所述输送带上设置翻片旋转轮,所述翻片旋转轮围绕中心均匀设置若干个线槽,线槽用于插接硅片,所述翻片旋转轮的一端部连接驱动电机,且翻片旋转轮连接驱动电机的中心轴与角度盘盘心穿接,所...
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