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紫外GaN基LED外延结构制造技术
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文档序号:13353096
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本实用新型提供一种紫外GaN基LED外延结构,LED外延结构依次包括:衬底;位于衬底上的低温缓冲层;位于低温缓冲层上的高温u‑GaN层;位于高温u‑GaN层上的高温n‑GaN层;位于高温n‑GaN层上的低温AlGaN/GaN超晶格层,低温A...
该专利属于聚灿光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚灿光电科技股份有限公司授权不得商用。
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