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导电薄膜制造技术
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文档序号:13352250
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一种导电薄膜,包括层叠的ZnO:R3+层及V2O5层,其中,R为铝元素,镓元素和铟元素中的一种。上述导电薄膜通过在ZnO:R3+层的表面沉积及高功函的V2O5层制备双层导电薄膜,既能保持ZnO:R3+层的良好的导电性能,又使导电薄膜的功函数...
该专利属于陈明志所有,仅供学习研究参考,未经过陈明志授权不得商用。
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