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基于斯塔克效应的SOUP结构光电调制器及制作方法技术
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下载基于斯塔克效应的SOUP结构光电调制器及制作方法的技术资料
文档序号:13350216
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一种基于斯塔克效应的SOUP结构光电调制器及制作方法,主要解决现有光电调制器中红外光易泄露,晶格失配和制作方法复杂的问题。光电调制器包括:衬底(1)、氧化下包络基座上的硅SOUP结构波导(2)、吸收区(3)、左电极(4)和右电极(5)。制作...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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