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光感测阵列的光感测单元的制造方法及其结构技术
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文档序号:13343459
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一种光感测阵列的光感测单元的制造方法,包括提供基板,基板上具有至少一单元区域。在基板上的单元区域内形成主动元件。在基板上的单元区域内形成第一电极层,所述第一电极层与主动元件电性连接。在主动元件上形成保护层。在保护层上形成遮蔽层,以遮蔽主动元...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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