温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种长程光学表面面形检测仪，包括移动光学头，所述移动光学头包括尾纤、分束镜、单孔屏、傅里叶变换透镜和面阵探测器，所述移动光学头设置为通过所述尾纤将输入的光束出射，以使光束透过所述分束镜后入射到待测光学器件的表面上，再经所述待测光学...
该专利属于中国科学院上海应用物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海应用物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。