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光掩模的制造方法以及显示装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:13332855
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光掩模的制造方法以及显示装置的制造方法,光掩模的制造方法能够对通过一次成膜而形成的光学膜准确地实施期望量的减膜,显示装置的制造方法使用了该光掩模。包含以下工序:准备在透明基板上涂覆光学膜和第1抗蚀剂膜而得到的光掩模基板的工序;形成第1抗蚀剂...
该专利属于HOYA株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过HOYA株式会社授权不得商用。
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