下载光掩模的制造方法以及显示装置的制造方法的技术资料

文档序号:13332855

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

光掩模的制造方法以及显示装置的制造方法,光掩模的制造方法能够对通过一次成膜而形成的光学膜准确地实施期望量的减膜,显示装置的制造方法使用了该光掩模。包含以下工序:准备在透明基板上涂覆光学膜和第1抗蚀剂膜而得到的光掩模基板的工序;形成第1抗蚀剂...
该专利属于HOYA株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过HOYA株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。