下载提高氮化物发光二极管P型掺杂浓度的外延生长方法的技术资料

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提高氮化物发光二极管P型掺杂浓度的外延生长方法,涉及氮化物外延技术领域,本发明在衬底上依次生长缓冲层、N型层、发光有源层、电子阻挡层、P型层和接触层,其特征在于:在N2和氨气的氛围下,通过控制三甲基铟流量分层生长形成P型层,形成的P‑AlX...
该专利属于厦门乾照光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门乾照光电股份有限公司授权不得商用。

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