下载一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵的技术资料

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本实用新型公开了一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵,其包括电源壳体及分子泵上、下端壳体,分子泵上端壳体内部成型上端壳体容置腔,分子泵下端壳体内部成型下端壳体容置腔,分子泵下端壳体外表面开设排气孔;上端壳体容置腔内嵌装驱动转轴、分子泵转子、轴承安...
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