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一种可见光到红外光探测的宽波段光电二极管制造技术
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下载一种可见光到红外光探测的宽波段光电二极管的技术资料
文档序号:13306415
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本发明涉及的光电二极管,可以扩展光的吸收波段,完成从可见光到红外光波段(400nm~1350nm)的探测,且在0.8μm~0.9μm以及1.1μm~1.35μm两个重要波段均具有较高响应性。其结构包括:含一个开口的重掺杂N型Si衬底,N型S...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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