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一种正装LED发光二极管及其制作工艺制造技术
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文档序号:13306411
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一种正装LED发光二极管及其制作工艺,涉及LED发光二极管技术领域。在外延层上图形化地刻蚀去除各元胞的P‑GaN层和量子阱层部分区域,直至暴露出N‑GaN层;在外延片表面利用溅射法蒸镀透明导电材料,通过光刻工艺,采用化学蚀刻方法,仅保留各元...
该专利属于厦门乾照光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门乾照光电股份有限公司授权不得商用。
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