下载用于SIOX切换设备性能中的改进的多孔隙SIOX材料的技术资料

文档序号:13305873

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一种多孔隙存储器设备,诸如存储器或开关,可以提供顶部和底部电极,存储器材料层(例如,SiOx)被定位在电极之间。存储器材料层可以提供纳米多孔隙结构。在某些实施例中,纳米多孔隙结构可以电化学地形成,诸如通过阳极蚀刻。穿透存储器材料层的细丝的电...
该专利属于威廉马歇莱思大学所有,仅供学习研究参考,未经过威廉马歇莱思大学授权不得商用。

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