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在石墨烯上基于磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法技术
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下载在石墨烯上基于磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法的技术资料
文档序号:13298957
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本发明涉及一种在石墨烯上基于磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法,该方法包括如下步骤:(1)在铜衬底上通过金属有机物化学气相淀积MOCVD生长石墨烯;(2)在覆盖石墨烯层的铜衬底上采用磁控溅射生长一层氮化铝薄膜;(3)将得到的氮化铝基板进行一定时...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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