下载介质支承装置的技术资料

文档序号:13293317

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在一个示例中,介质支承装置包括压板(18)和在所述压板(18)中的多个吸盘(20)。所述压板(18)中的每个吸盘(20)具有端口,空气能够通过所述端口从所述盘(20)排出。...
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