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一种超薄涂层的高速摩擦测试方法技术
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下载一种超薄涂层的高速摩擦测试方法的技术资料
文档序号:13291007
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本发明公开了一种超薄涂层的高速摩擦测试方法,属于摩擦学测试及精密与超精密加工领域,通过将摩擦盘固定在电主轴上,对其进行在线动平衡;然后该摩擦盘进行修盘,达到测试所需的端面跳动以及粗糙度要求;随后将涂有超薄涂层的对磨工具装夹在连有力反馈装置的...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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