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本发明涉及一种金属薄膜生长椭园偏振光谱实时监控方法。采用真空镀膜样品台和椭园偏振光谱实时监控系统一体化结构；将光钎偶合器、光钎准直系统、小孔光拦、步进电机、角编码器、起偏器、检偏器、光钎光谱仪等分别封装在左右两个密封盒里；采用光纤将复合光输...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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