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一种铁基单晶超导微桥的制备方法技术
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文档序号:13285903
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本发明公开了一种铁基单晶超导体微桥的制备方法,在平整的铁基超导单晶表面直接光刻图形,通过氩离子束刻蚀控制样品厚度,运用翻面技术,经过解理、热蒸发金电极、光刻微桥图形和离子束刻蚀,就可以得到理想厚度的铁基超导单晶微桥样品。该制备方法简单、可操...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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