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本发明涉及一种基于半导体激光器组件的四自由度光学测头。包括测头机构和靶镜机构；测头机构包括半导体激光器、四象限光电探测器、二维PSD位置敏感探测器、光隔离器和平凸透镜；靶镜机构包括半透半反镜和角锥棱镜；用于测量时，测头机构固定设于工作台上，...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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