下载一种检测激光清洗效果的装置及方法的技术资料

文档序号:13276071

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本发明提供了一种检测激光清洗效果的装置及方法,采用激光光速清洗样品表面,探测光束探测样品表面并经图像采集、处理,计算出下列参数平均强度偏态Sk0、峰值K0的标定值,以及阈值a、b、c,进而在后续检测时,只需依据各个样品的平均强度偏态Sk、峰...
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