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一种基于双向三维特征叠加的三维微结构加工方法技术
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文档序号:13261509
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本发明提出了一种基于双向三维特征叠加的三维微结构加工方法,包括如下步骤:步骤一:建立零件几何模型;步骤二:根据所述三维微结构几何模型上的不同方向,分别建立三维电极模型;步骤三:建立薄片电极数据模型;步骤四:加工微电极薄片;步骤五:连接各层微...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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