下载一种针对SF6设备微水超标的处理工艺的技术资料

文档序号:13250650

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本发明涉及一种针对SF6设备微水超标的处理工艺,在充氮气冲洗SF6设备之前,利用气体温控系统将氮气加热到98℃-102℃;充入SF6设备进行冲洗30min,冲洗后再用真空导管将氮气排出,冲洗两次;给SF6设备充入SF6气体,并做气压及微水测...
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