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一种活化渣剂除硼的方法及其装置，属于半导体材料及冶金领域。所述装置设有罗茨泵、炉底座、中频感应线圈、保温层、石墨坩埚、搅拌器和升降装置。方法：将原料硅从进料口投入石墨坩埚中，启动罗茨泵抽真空，启动中频感应电源加热，待温度升至1500℃，使硅...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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