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本实用新型公开了一种改进型真空镀膜机，属于滤光片镀膜制造技术领域，解决了传统镀膜机洁净度不稳定，基片在真空镀膜过程中因油蒸汽返流污染所造成的成品率下降，不能满足现代公司科技生产品质要求的问题。主要包括真空镀膜室、油扩散泵、机械真空泵、热交换...
该专利属于江苏星浪光学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏星浪光学仪器有限公司授权不得商用。

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